E-UMS130-X Hánákvæmni, lágprófíl línuleg mótorþýðingarstig
Bein akstur með beinni stöðumælingu
Nanopositioning árangur og háhraði í fyrirferðarmikilli, hagkvæmri sviðshönnun
● Línuleg ferðasvið 60, 110 og 160 mm;
● Lágmarks stigvaxandi línuleg hreyfing í 10 nm;
● Valkostir fyrir staðsetningarkóðara með mikilli nákvæmni: Stigvaxandi og alger mæling;
● Samningur stærð: 135 mm × 45 mm þversnið;
● Krossaðar rúlluleiðsögumenn fyrir mikla burðargetu og mikla rúmfræðilega frammistöðu;
● Járnlausir 3-fasa línulegir mótorar